真空ポンプの種類と用途

真空ポンプは、密閉容器内に真空を作り出すために使用される機器の一種です。最初のポンプは実験室で使用されました。このテクノロジーに関連するさまざまな機能を備えたさまざまなタイプのポンプが利用可能です。科学技術の分野での新しい研究は、特に手順を台無しにしました 産業用アプリケーション すなわち 自動車 、下水システム、製薬、および工業プロセスなど。これらの方法に基づいて、それらは容積式、ロータリーベーン、液体リング、閉じ込めポンプ、および分子移動などに分離されます。

真空ポンプとは何ですか？

真空ポンプは、制限された圧力と比較して液圧を下げるために使用されるシステムの一種であり、余剰空気とその要素を取り除くために頻繁に使用される真空システムによって実現されます。過剰な反応物、さもなければ不必要な副産物は沸点などを低下させます。いくつかの開発産業では、不安を乗り越えることが必要な移動の程度です。これらのポンプはさまざまなタイプに分類され、真空および排気量レベルのさまざまな要件によってさまざまなプロセスで使用されます。

真空ポンプ

真空ポンプの効率は、主にポンプ速度やスループットなどのさまざまなパラメータに依存します。両方の寸法係数は、これらが異なることです。一部の企業は、吸引能力と水銀柱インチで真空を生成する能力の観点からポンプの能力を計算しています。

それはどのように機能しますか？

真空ポンプの働きは、吸引によって閉鎖系から空気を排除し、制限された空間内の空気の密度を徐々に減らして、真空を作り出すことができるようにすることです。回転シャフトの機械的努力エネルギーが空気圧に変換されるため、閉鎖系の空気を除去します。

保存されたボリューム内の内力レベルは、外部環境のレベルよりも小さくなります。生成されるエネルギーの量は、主にガスの量に依存します。そうでない場合は、空気が除去され、生成された圧力が内外の大気間で異なります。

真空ポンプの種類

さまざまな真空ポンプが利用可能であり、これらのポンプの一般的な機能は、閉じたデバイスから空気、蒸気、またはガスを除去することだけです。一般に、これらは3つのタイプに分類され、以下で詳細に説明します。

真空ポンプの種類

1）。容積式ポンプ

これらのタイプの真空ポンプは、キャビティを連続的に拡張してガスが外部チャンバーから流れるようにするようなメカニズムで動作します。次に、空洞が開かれ、ガスが大気中に放出されます。これらのポンプは、低真空を作成するのに非常に役立ちます。

2）。運動量伝達ポンプ

これらのタイプのポンプは分子ポンプとして知られており、開く前にガス粒子をチャンバーの外に移動させるために高速流体で動作します。これらのポンプは主に高真空を達成するために使用され、さまざまな排気量のポンプと組み合わせて動作することがよくあります。

3）。回生ポンプ

このポンプは流体の渦性能を使用し、その構造は主に依存しています ハイブリッド理論 遠心＆ターボポンプの。一般に、多段遠心ポンプなどの静止した空の溝内で空気粒子を流すローター上に多数の垂直な歯のセットが含まれます。

ポンプをホルウェックポンプと組み合わせると、1×10に達します⁻⁵mbarは大気圧に直接排出されます。サイドチャネルポンプと呼ばれることもあります。これらのポンプは、製造業内のロードロックで使用されます。 半導体 プロセス。

この種のポンプは、ターボ分子ポンプのようなものとは対照的に、1kWのような巨大な電力消費から経験します<100W at low-pressure as most power is used to reverse atmospheric force. This can be decreased by almost 10 times with a tiny pump.

4）。閉じ込めポンプ

この種のポンプはおそらくクライオポンプであり、低温を使用してガスを硬い状態に圧縮します。化学ポンプはガスに反応して硬い残留物を生成します。そうでない場合、イオンポンプは強電界を利用してイオンを押し出し、ガスを硬い基板にイオン化します。クライオモジュールはクライオポンプを採用しています。これらのタイプのポンプは、収着、チタン昇華、非蒸発ゲッターポンプです。

真空ポンプの利点

真空ポンプの利点は次のとおりです。

• これらのポンプは、鉱山キャンプの廃棄物を確実に吸引して移動するために使用されます。
• これらは、こぼれを回避するだけでなく、バ​​イオソリッドの材料を簡単かつ安全に輸送するための臭気の能力を制御します。
• これらのポンプの主な目的は、危険物を安全に移動して、環境を有毒な浪費から保護することです。
• それらは無駄を迅速にそしてブロックされた排水から取り除くので、時間を節約することができ、タスクをより早く行うことができます。
• これらは、パワージェット、転倒タンク、およびリアドアで使用され、幅広いアプリケーションでの使用に最適です。

真空ポンプのデメリット

真空ポンプの欠点は次のとおりです。

• これらのポンプは、液体スラッグによって損傷する可能性があります。
• ポンプ内の流体とプロセスガスは、汚染を避けるために適切に適合している必要があります。
• ポンプの吸引圧力は、ポンプ内の流体の蒸気によって制限できます。
• シーラント流体の蒸気圧により、得られる真空は動作温度で制限される可能性があります。

真空ポンプの用途

真空ポンプの用途は次のとおりです。

• これらのポンプは、複雑なプラスチック成形、真空管、CRT、電気ランプの製造、半導体処理、ドライエッチング、特にイオン注入、フォトリソグラフィーでのALD、PVD、CVD、PECVD蒸着など、いくつかの産業および科学プロセスで使用されます。 。
• 真空は、機械装置のサポートを提供するために使用されます。たとえば、このポンプは、ハイブリッドおよびディーゼルエンジンの自動車のエンジンに配置できます。
• このポンプは電力を供給するために使用できます コンポーネント 油圧ブレーキ、ダンパー、スロットルドライバー、ドアロックなどの自動車の
• これらのポンプは航空機で使用され、真空源はさまざまな航空機計器内のジャイロスコープを制御するために頻繁に使用されます。
• の計装損失の合計 電気的故障 特定の機器および真空源によって動力駆動される他の機器で設計された機器パネルによって停止することができます。

これはすべてについてです 真空ポンプ とそのタイプ。これらのポンプの用途には、主にパルプ、セメント、紙、発電所、製糖工場、化学薬品、処理プラント、医薬品などの科学、医療、および産業用途が含まれます。ここで質問があります。真空の機能は何ですか。ポンプ？